产品代码
AME-2103-803
可用性
发表
产品项目代码
int-29f08t2a0cqk1
设备制造商
英特尔
设备类型
NAND Flash.
订阅
记忆 - NAND＆DRAM
渠道
记忆 - 过程
报告代码
AME-2103-803
简明分析概要报告关键设备度量，透射电子显微镜的能量色散X射线光谱（TEM-EDS）和TEM基电子能量损失光谱（TEM-EELS）结果，以及由以下图像支持的突出特征文件夹：
- 下游产品拆除
- 包照片和X射线，顶级金属和多晶硅模具照片
- SEM横截面沿字线（WL）和3D NAND数组的位线（BL）
- 沿BL方向（BLD）的TEM横截面
- WL方向（BLD）的TEM横截面
- SEM斜面
- 内存阵列
- 内存阵列边缘
- 在多晶硅水平的外围
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