HiSilicon 710A SMIC 14nm FinFET aCMOS Essentials

用于具有finfet的逻辑微处理器芯片的高级CMOS Essentials (ACE)包括一份简明的分析总结文档，突出显示观察到的关键尺寸和显著特征，由以下图像文件夹支持:

• 下游产品拆卸
• 包装x光片，顶部金属和聚模具照片，模具特征的非侵入性光学照片
• 透射(TEM)和扫描电镜(SEM)斜角穿过逻辑区域和SRAM
• 一般器件结构，线后端(BEOL)(金属，介质)和线前端(FEOL)结构的TEM和SEM截面

TEM-EDS和EELS分析的结果包含在ACE总结文件中。ACE交付物提供了及时的竞争性基准信息，并实现了对广泛竞争对手的技术创新的成本效益跟踪。

• 两个TEM横截面，与晶体管栅指和翅片正交，显示下层金属和介质、晶体管栅(NMOS和PMOS)、翅片、隔离和其他FEOL特征。