颠覆性技术:罗姆代4 SiC MOSFET

罗姆的第四代SiC MOSFET:最低的阻力

新的第四代SiC mosfet具有行业最低的阻力

罗姆是全球领先的电力半导体器件制造商之一,并释放他们的第四代碳化硅(SiC) MOSFET一直备受期待。

MOSFET在我们的实验室,我们惊讶地发现我们曾经遇到的最深的海沟SiC设备。根据我们的估计,罗姆已经设法创建一个战壕几乎2 x更深的比我们在SiC之前看到。

蚀刻战壕在碳化硅是出了名的困难。在这个设备,周围的p型掺杂source-trench创建额外的屏蔽高领域的栅氧化层(提高可靠性)和使致密细胞包装(减少螺距)。

罗姆声称取得了开关损耗降低50%在他们的上一代通过显著减少寄生电容。改进的沟结构有助于实现行业特定的最低的阻力。

罗门哈斯代4 SiC MOSFET

图1:罗门哈斯的第四代SiC MOSFET

下面是一个高级的总结我们的研究结果:

  • 新的第四代SiC mosfet具有行业最低的阻力
    • 罗门哈斯SCT4045DEC11 Gen4 45 mΩ750 V
    • 特定的导通电阻(R最低DS(上)*一个)在市场上
  • 高各向异性源海沟~ 2.5:1的比例
  • p型植入在整个源沟地区
  • 减少细胞间距从上一代的3倍

罗门哈斯创4:技术评审

罗门哈斯的第四代SiC MOSFET

TechInsights颠覆性技术

下载产品短暂的更多细节,并对高分辨率图像显示沟结构注释。