英特尔10纳米逻辑过程分析(Cannon Lake)

发布日期:2018年6月12日

英特尔10nm逻辑进程分析

英特尔10nm逻辑进程分析

TechInsights发现了人们期待已久的Cannon Lake——联想IdeaPad330中使用的i3-8121U CPU内部的Intel 10纳米逻辑进程。

这种创新具有以下特点:

  • 每毫米100.8兆晶体管的逻辑晶体管密度2,increasing 10nm density 2.7X over the 14nm node
  • 采用第三代FinFET技术
  • 英特尔10nm工艺的最小栅极间距从70 nm收缩到54 nm
  • 最小金属间距从52纳米缩小到36纳米

过程亮点:

  • Deepest scaled pitches of current 10 nm and upcoming 7 nm technologies
  • 第一次共金属化和Ru在BEOL中的应用
  • 新的接触和BEOL自对准图案化方案

设计亮点:

  • 通过6.2轨道高密度库实现超尺度
  • 有源门(COAG)单元级使用触点

英特尔10nm逻辑进程分析

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